罗茨真空泵广泛地应用于真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空浸渍、真空钎焊、真空热处理、真空浓缩、真空反应、高空模拟试验等工艺项目上。罗茨真空泵不能单独使用，常与其他泵组成罗茨真空泵机组。因此，罗茨真空泵真空度也影响着真空机组运作效果。

1、基础压力。基础压力对罗茨真空泵而言，并不是罗茨真空泵真空度本身的特征性能指标，它在很大的程度上取决于前级泵的类型(基础压力)和温度。

2、漏率。漏率是属于罗茨泵真空度自身的性能影响因素，与前级泵无关，也基本上不受温度的影响。

3、零流量压缩比。零流量压缩比是罗茨真空泵真空度有关抽气性能的非常重要的特征性能指标，与泵相互转动零部件之间的间隙有关，也与转速和气体种类有关。

4、容许压差。此项是考核罗茨真空泵真空度运转可靠性的特征性能指标。如要以此作为提升罗茨真空泵性能的条件，相互转动零部件之间的间隙以大为好，转速也以低为好。

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