对于这些不同类型的干式螺杆真空泵，我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾，因为无油螺杆真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然，还有一个影响耐腐蚀螺杆真空泵的抽气速率的重要因素，那就是转速。

非耀干式螺杆真空泵

为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高它的转速。而想要改变耐腐蚀螺杆真空泵的转速有两种方法，一是改变电源的频率，即采用变频器。二是改变齿轮箱的传动比。其中，采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制，但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法，当然，它只能提供不可控的单一转速。

现在，可以看到耐腐蚀螺杆真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。

根据具体情形，综合以上所有设计类型的优点一定是理想的选择，但目前还不太可能。因此，这就要求使用者首先要知道在耐腐蚀螺杆真空泵的设计上有着如此多的不同设计类型，进而根据自身工艺特点了解各种不同类型泵的设计对其影响。这样做出的选择才能够尽可能降低其使用成本，而获得一个寿命较长的稳定的真空系统。