干式螺杆真空泵主要由主动螺杆和从动螺杆组成，两者在无油螺杆真空泵泵壳内进行同步高速反向旋转。当螺杆旋转时，它们之间的相对运动形成了一系列连续的、容积逐渐增加的吸气腔和逐渐减小的排气腔。

非耀干式螺杆真空泵用在化工反应釜抽真空

在吸气过程中，随着螺杆的旋转，吸气腔的容积逐渐增加，从而在腔内形成一定的真空度。由于真空度的存在，外部气体被吸入到吸气腔中。在螺杆继续旋转的过程中，吸入的气体被逐渐传输到压缩腔。由于螺杆的螺旋结构，气体在传输过程中被逐渐压缩，压力逐渐升高。螺杆之间的间隙非常小，可以很好地防止气体在压缩过程中泄漏。当气体被压缩到一定的压力后，它们会进入无油螺杆真空泵排气腔。随着螺杆的继续旋转，排气腔的容积逐渐减小，从而将气体排出泵外。

在气体被压缩的过程中，由于螺杆之间的摩擦和气体的压缩热，螺杆和泵壳的温度会升高。因此，螺杆真空泵通常配有冷却系统，如油冷却或水冷却，以降低泵的温度并保持其正常运行。同时，螺杆真空泵中的润滑油也起到润滑和密封的作用，确保螺杆之间的平稳运行。

无油螺杆真空泵采用多个密封结构，如机械密封、气体密封等，以保证泵的高真空度和低泄漏率。这种结构使得螺杆真空泵在保持效率高的同时，也具有良好的密封性能。

无油螺杆真空泵的工作原理是通过螺杆的旋转运动，将气体从低压区域吸入，经过螺杆的压缩和排放，将气体排到高压区域。这种工作原理使得螺杆真空泵具有较高的吸气能力和密封性能，广泛应用于高真空等领域。