罗茨真空泵一般采用真空单元的形式，因为普通罗茨泵在正常压力和高压下不能启动和直排大气，所以需要配备前泵。但不是所有的罗茨真空泵都需要启动前级泵，例如气冷罗茨真空泵。

非耀气冷罗茨真空泵

普通罗茨真空泵需要在6000Pa甚至更低的压力下才能启动，在1333Pa〜1Pa之间开始具有稳定的大抽速。因为罗茨真空泵没有内部压缩特性，它是通过气体排放形式的外部压缩实现的。过高的压力和高压作业会使真空泵负载过高，使得转子在压缩过程中不能太大的散热，会产生过大的膨胀，导致转子与泵腔之间的间隙消失了，那就是卡住了。为了解决这个问题，气冷罗茨真空泵使用冷却气直接冷却转子方式降低转子温度和泵腔之间的温差，以避免转子过度膨胀实现高压和高压缩比运行，因此它可以单独在大气压下使用，也可以用于增加多个串联单元的真空度。

气冷罗茨真空泵和普通罗茨真空泵的结构原理没有太大的区别。主要在泵出口设置连接的冷却器，并在泵的两侧引入冷却气体以冷却转子。这种结构，罗茨真空泵的实现可以在大气压力下直接启动，独立工作。独立直风，气冷式罗茨真空泵压泵约1×104Pa，串联可得到下限压力，工作压力可达88kPa。

非耀气冷罗茨真空泵不仅可以直接在大气压下工作，而且在高压段具有稳定的泵送速度曲线，可大大缩短抽气阶段的抽气时间。与其他直气密封泵相比，泵送速度大，且具有在高压条件下具有良好的节能特点。