1、罗茨真空泵机组安装后和起动前应作的准备:①应查清罗茨泵电机的转向需要与给定的箭头指示方向相同，不得反向;②检查各处油杯的油面是否符合规定位置;③检查各接头、部件的密封性是否可靠;④接通各部冷却水。

2、罗茨真空泵机组的运行:①先开前级泵，使罗茨泵或被抽系统的真空度达到规定值(以油封式机械泵作前级泵时，应抽到5Pa以下，以水环泵作前级泵时，应抽到60~80Pa以下);②开动罗茨真空泵。

3、罗茨真空泵机组的停车:①关闭进气阀门;②停罗茨泵;③停前级泵;④前级泵放气，以免真空油或水等在真空下返回罗茨泵;⑤停止借水。

由上可见，装有特殊部件的罗茨泵真空机组运行如罗茨泵螺杆真空泵机组的操作是比较麻烦的，特别是罗茨泵本身，有时因操作不好会使反压过大而损坏。