人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备,称为真空获得设备或真空泵。高真空度真空泵目前在真空技术中,采用各种不同的方法,已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa,宽达18个数量级的压力范围。
非耀LGB螺杆真空泵
在真空获得技术中,目前用以获得真空的技术方法有两种,一种是通过高真空度真空泵的运动把气体直接从密闭容器中排出。另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多,分类方法各异,但是,常用的方法还是按真空泵的工作原理或其结构特点加以分类。
真空泵的分类按真空泵的工作原理,高真空度真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽,大多需要由几种真空泵组成真空泵机组抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求,因此选用不同类型真空泵组成的真空泵机组进行抽气的情况较多。为了方便起见,将这些高真空度真空泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。
三级罗茨水环真空泵机组
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