现在市场上提供的节能干式真空泵种类很多。就其基本原理来分，只有两类，即:

① 容积式的无油真空泵，例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、无油螺杆真空泵和涡旋式泵等。这种节能干式真空泵的压力一般为0.1～10Pa。

② 动量传输式的无油真空泵，如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接，在连续流状态下压缩比较高。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气。这种涡轮式泵的压力约为10-2Pa。牵引型节能干式真空泵也属于动量传输式的干式真空泵。

杭州非耀节能干式真空泵和油封式机械泵相比，达到同样的压力，其残余气体成分则全然不同，经分析结果明，油封泵的残余气体，CnHm 气体(碳氢化合物气体)为其主要成分，而干式泵的残余气体为空气的组成成分。这就证实了干式真空泵的抽气不会再有油的污染了。