一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。干式螺杆真空泵属于非接触型真空泵，以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点。

螺杆真空泵结构图

螺杆泵是由一对平行的螺旋状转子与泵体组成的一个工作室，转子与泵体之间没有磨擦且保持一定的间隙，两个转子与泵体之间形成了密封腔，当转子旋转时把密封腔内的气体不断地挤带至排气口排出。因干式螺杆真空泵无需油润滑或水密封，泵腔内完全无油，因此螺杆真空泵是无油干式真空泵，在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有不可比拟的优越性，它是往复泵、水环泵、油封式滑阀真空泵、旋片真空泵、及罗茨机组的更新换代产品。

干式螺杆真空泵在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。如果想要了解更多关于干式真空泵的知识，欢迎联系非耀客服。